微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng): NM的微波PECVD能夠沉積高質(zhì)量SiO2, Si3N4, 或DLC膜到Z大可達12" 的基片.淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源，樣品臺通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。可支持加熱和冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機械泵，真空可低至10-7 torr。標準配置含1路惰性氣體、3路活性氣體和4個MFC。

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更新時間：2025-09-17
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微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)概述：NANO-MASTER PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜，至大可達6" 直徑的基片上，該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來產(chǎn)生等離子，具有分形氣流分布的優(yōu)勢，樣品臺可以通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機械泵，腔體可以達到低至10-7 torr的真空。

標準配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個MFC；
帶有氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求，無論是等離子強度、均勻度，還是要分別激活某些活性組份；
系統(tǒng)可以覆蓋z廣的可能性來獲得各種沉積參數(shù)。

微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)應用：

等離子誘導表面改性：就是通常所說的用等離子實現(xiàn)表面改性(如親水性、疏水性等)；
等離子清洗：去除有機污染物；
等離子聚合：對材料表面產(chǎn)生聚合反應；
沉積二氧化硅、氮化硅、DLC(類金剛石)，以及其它薄膜；
CNT(碳納米管)和石墨烯的選擇性生長：在需要的位置生長CNT或石墨烯。

特點：

立式系統(tǒng)
自動上下載片，帶預真空鎖
不銹鋼或鋁制腔體
極限真空可達10-7Torr
RF淋浴頭，HCD或微波等離子源
高達6"(150mm)直徑的樣品臺
RF射頻偏壓樣品臺
水冷樣品臺
可加熱到的800 °C樣品臺
加熱的氣體管路
加熱的液體傳送單元
抗腐蝕的渦輪分子泵組
z大可支持到8MFC
基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
菜單驅動，4級密碼訪問保護
完整的安全聯(lián)鎖

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